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激光电镀技术的优势
发表时间: 2019-10-24 17:23:53浏览: 60
[文本]激光电镀是一种新兴的高能束电镀技术,对于微电子器件和大规模集成电路的生产和修复具有重要意义。目前,尽管仍在研究激光镀,激光烧蚀,等离子激光沉积和激光喷射的原理,但是它们的技术已经在实际使用中。当在镀浴中对阴极表面照射连续激光或脉冲激光时,不仅可以大大提高金属的沉积速度,而且可以通过计算机控制激光束的轨迹,从而获得所需复杂几何形状的非屏蔽涂层。在1980年代,开发了激光增强镀层的新技术。激光增强电镀技术与电镀液喷射相结合,使激光和电镀液同时撞击阴极表面。传质速率大大超过了激光辐照引起的传质速率。微搅拌的传质速度,从而实现了很高的沉积速率。激光电镀是经典技术与现代技术的结合。它是一种新兴的高能束镀技术。激光技术的使用可以提高金属沉积速度,效率提高了1000倍。当使用连续激光或脉冲激光照射镀浴中的阴极表面时,不仅可以增加沉积速度,而且可以通过计算机来控制激光束的轨迹。获得具有所需复杂几何形状的非屏蔽涂层。与普通电镀相比,具有以下优点:(1)沉积速度快,如激光镀金可达1mu,m / s,激光镀铜可达10mu,m / s,激光喷镀金可达12mu,m / s。 s,激光镀铜可以达到50mu,m / s,(2)仅在激光辐照区发生金属沉积,无需遮挡措施即可获得局部沉积镀层,简化了生产工艺,(3)附着力大大提高。 (4)易于实现自动控制,(5)节省贵金属,(6)节省设备投资和加工时间。
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